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等離子清洗機來鍵合微流控PDMS芯片不會在表面產生損傷層,是無損處理工藝,表面質量得到保證;
等離子體清洗機對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子體清洗機的輝光放電不但加強了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子體清洗機廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域。
微流控PDMS芯片通常采用等離子體清洗機處理的方法來獲得。采用等離子清洗機來鍵合微流控PDMS芯片,不同的工藝參數將會影響到PDMS芯片的鍵合強度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5 bars的耐壓值。