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煙臺金鷹科技有限公司
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等離子清洗機所產生的等離子體，不僅具有清除有機物和無機物的清潔特性，而且等離子清洗機賦予了材料表面新的實用性能，如抗靜電性、親水性、染色性（高分子材料）耐磨、耐腐蝕性（金屬材料）；清洗、刻蝕、去膠等（半導體材料）；吸光性
等離子體清洗機作為一種的干式清洗技術，具有色環綠保等特點，隨著微電子行業的迅速發展，等離子清洗機也在半導體行業的應用越來越多。
等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時，等離子表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機物，也可以通過等離子活化和粗化作用，對晶圓表面進行處理，能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統的濕式化學方法，等離子體清洗機干式處理的可控性更強，一致性更好，并且對基體沒有損害。
