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煙臺金鷹科技有限公司
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目前的ITO玻璃清潔工藝中用各種清洗劑(酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗、超聲波清洗)進行清洗，但由于清洗劑的引入會導致因清洗劑的引入而帶來其他的相關問題，而等離子清洗機對ITO玻璃進行表面清潔是比較有效的清潔方法。
等離子體是由帶正、負電荷的離子和電子也可能還有一些中性的原子和分子所組成的集合體，在宏觀上一般呈電中性。等離子體可以是固態、液態和氣態。電離氣體就是一種氣態等離子體。等離子體中的基本過程是在電場和磁場的作用下各種帶電粒子間相互作用引起多種效應。
等離子清洗機對液晶玻璃進行清潔處理使用的活化氣體是氧等離子體，等離子清洗機能除去油性污垢和有機污染物粒子，因為氧等離子體可將有機物氧化并形成氣體排出。增強偏光板粘貼的成品率并且電極與導電膜間的粘附性也大大改善，從而改善了產品的質量及其穩定性。
等離子清洗機實際是高精度的干法清洗設備，等離子處理設備的清洗范圍為納米級別的有機和無機污染物。在等離子清洗機的處理應用中主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機氣體( Ar、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發，產生含有離子、激發態分子，自由基等多種活性粒子。
等離子清洗機處理可把活化氣體分為兩類：一類為惰性氣體的等離子體(如Ar、N2等)；另一類為反應性氣體的等離子體(如O2、H2等)。這些活性粒子能與表面材料發生反應，激發態分子清洗活化表面。等離子產生的原理如下：給一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲) ，電極之間形成高頻交變電場區域內氣體在交變電場的激蕩下，產生等離子體。活性等離子對被清洗物進行表面物理轟擊與化學反應雙重作用使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質經過抽真空排出而達到清洗目的。LCD工藝水平飛速發展，LCD制造技術極限不斷受到挑戰并發展已成為代表制造技術的前沿技術。在清洗行業對清洗的要求也越來越高，常規清洗已經不能滿足要求，等離子體清洗機比較理想地解決了這些精密清洗的要求又符合當今環保的形勢。
