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等離子清洗機(jī)半導(dǎo)體晶圓刻蝕

2021-3-5  閱讀(1487)

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 等離子清洗機(jī)附屬功能之一:等離子刻蝕。主要以化學(xué)反應(yīng)為主,物理反應(yīng)為輔,減法。
 
 等離子刻蝕(等離子蝕刻)化學(xué)反應(yīng)為主,由物理轟擊來(lái)達(dá)到各向異性及增加刻蝕速度;加上物理轟擊后,比純化學(xué)刻蝕要快;對(duì)應(yīng)的專(zhuān)業(yè)設(shè)備是等離子刻蝕機(jī),放電模式主流是ICP,等離子體濃度更高。常規(guī)的等離子清洗機(jī)講到的刻蝕,往往是借助一些腐蝕性的氣體,把材料表面變得更加粗糙而已。典型應(yīng)用:半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓刻蝕等。
 

等離子清洗機(jī)作為干法清洗可控性強(qiáng),一致性好,不僅*去除光刻膠有機(jī)物,而且還活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤(rùn)性

 

晶圓清潔 - 等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點(diǎn)工藝前去除污染,還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。

晶圓刻蝕 - 等離子清洗機(jī)預(yù)處理晶圓的殘留光刻膠和BCB,重新分配圖形介電層,線(xiàn)條/光刻膠刻蝕,應(yīng)用于晶圓材料的附著力增強(qiáng),去除多余的塑封材料/環(huán)氧樹(shù)脂,增強(qiáng)金焊料凸點(diǎn)的附著力,晶圓減壓減少破碎,提高旋涂膜附著力,清潔鋁焊盤(pán)。

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