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等離子清洗機(jī)作為干法清洗可控性強(qiáng),一致性好,不僅*去除光刻膠有機(jī)物,而且還活化和粗化晶圓表面,提高晶圓表面浸潤性
晶圓清潔 - 等離子清洗機(jī)用于在晶圓凸點(diǎn)工藝前去除污染,還可以去除有機(jī)污染、去除氟和其它鹵素污染、去除金屬和金屬氧化。
晶圓刻蝕 - 等離子清洗機(jī)預(yù)處理晶圓的殘留光刻膠和BCB,重新分配圖形介電層,線條/光刻膠刻蝕,應(yīng)用于晶圓材料的附著力增強(qiáng),去除多余的塑封材料/環(huán)氧樹脂,增強(qiáng)金焊料凸點(diǎn)的附著力,晶圓減壓減少破碎,提高旋涂膜附著力,清潔鋁焊盤。