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半導體行業(yè)靜電消除器

2021-3-1  閱讀(907)

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   在半導體器件生產車間,由于塵埃吸附在芯片上,尤其是超大規(guī)模集成電路的成品率會大大下降。生產車間操作人員都穿潔凈工作服,若人體帶靜電,則極易吸附塵埃、污物等,若這些塵埃、污物被帶到操作現場的話,將影響產品質量,惡化產品性能、大大降低成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于線條寬度約時,薄膜厚度在下時,則易使產品報廢。

以在加工生產和封裝過程中建立起靜電防護系統(tǒng)是很有必要的,IC封裝生產線對靜電的要求更為嚴格。為了保證生產線的正常運行,對其潔凈廠房進行防靜電建筑材料的整體裝修,對進出潔凈廠房的所有人員配備防靜電服裝等采取硬件措施外,封裝企業(yè)可根據國家有關標準和本企業(yè)的實際隋況制定出在防靜電方面的企業(yè)標準或具體要求,來配合封裝生產線的正常運轉。

由于即除塵又除靜電的設備品種較多,如何選擇適合自己的產品主要根據生產線上的狀況來決定。以下介紹幾種即除塵又除靜電的靜電消除器設備:
1、離子風槍:靜電消除離子風槍的特點是手持式的,操作方式很隨意,靜電消除離子風槍比較適合用在檢驗部位,檢驗者看到那里有灰塵只要拿起風槍吹一下就可以了。 
2、離子風嘴:靜電消除離子風嘴是固定式的產品,體積小,不占地方,靜電消除離子風嘴比較適合流水線上或部分空間狹小的工位。也可以做成腳踏式和感應式。 
3、離子風蛇:靜電消除離子風蛇有三種款式:普通式、感應式和腳踏式,可以滿足客戶生產現場不同環(huán)境的需要。適合用在有空間放置,無需人員操作,但需要經常調整吹塵方向的工位。 
除以上產品在部分流水線和操作工位上還需裝離子風機,從而降低靜電的累積,避免產品在不知不覺中被擊穿。可以選用除靜電懸掛式或臺式離子風機,消電面積大,不占用工作空間,可以根據工作臺的大小或流水線的寬度來選擇。

 

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