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等離子清洗機表面處理機應用包括處理、灰化、改性、蝕刻等過程。選擇等離子清洗設備,不僅能除去光刻膠和其他有機物,而且能激活晶圓表面,提高晶圓表面的潤濕性。聚合物、包括形狀不一的槽孔和狹長的孔洞內的微粒,使用等離子清洗機可以輕而易舉清洗掉
在聚合物清洗上,等離子清洗機發揮著極其重要的作用:
等離子清洗機的消融作用中使用的惰性氣體破壞了聚合物表面的化學鍵從而導致聚合物表面自由官能團的形成。
聚合物表面的自由官能團重新成鍵形成原始的聚合物結構,也能與在相同的聚合物鏈上鄰近的自由官能團成鍵,或與在不同的聚合物鏈上附近的自由官能團成鏈。聚合物表面結構重組能夠改進表面的硬度和化學抗性;
2、等離子清洗機對聚合物表面清潔:等離子清洗機通過高能電子和離子轟擊材料表面,從而機械地除去污物層。可以除去某些加工聚合物中可能存在的污垢層、不需要的聚合物表面涂層和薄弱的邊界層。
3、聚合物的表面改性
等離子清洗機的消融作用破壞了聚合物表面的化學鍵,從而導致聚合物表面自由官能團的形成。基于等離子過程氣體的化學性質,這些表面自由官能團與等離子中原子或化學基的連接形成了新的聚合物功能組,代替舊的表面聚合物功能組。等離子清洗機聚合物表面改性能夠改變材料表面的化學性質,而材料整體性質不會改變;
4、等離子清洗機對聚合物的表面鍍膜
等離子鍍膜是通過過程氣體的聚合作用在材料基層表面形成一層薄的等離子涂層。如果被使用的生產氣體由復合分子組成,那么他們在等離子態將破裂,形成自由的官能單體,這些官能單體將在聚合物表面成鍵和重新化合在聚合物表面鍍膜。等離子清洗機的聚合物表面涂層能明顯地改變表面的滲透性和磨擦性。
等離子清洗機處理方法是剝離式清洗,優勢在于清洗后無廢液,特點是對金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料等原基材料都能很好地處理,可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。
低溫等離子清洗機用于物體表面清潔、蝕刻、表面活化改性等多種場合,通過等離子清洗機的處理,可使新能源材料獲得潤濕性、增強粘結力、粘結力等,同時去除有機污染物,確保連接張力達到規范要求,例如可以提高構件與底板間的粘接強度,通常需要在粘合點用等離子體清洗機的處理。