納米傅里葉紅外光譜儀Nano-FTIR使得納米尺度化學鑒定和成像成為可能。這一技術綜合了原子力顯微鏡的高空間分辨率，和傅里葉紅外光譜的高化學敏感度，因此可以在納米尺度下實現對幾乎所有材料的化學分辨。現代化學分析的新時代從此開始。

納米傅里葉紅外光譜儀Nano-FTIR

在不使用任何模型矯正的條件下，nano-FTIR獲得的近場吸收光譜所體現的分子***特征與使用傳統FTIR光譜儀獲得的分子***特征吻合度*（見圖2），這在基礎研究和實際應用方面都具有重要意義，因為研究者可以將nano-FTIR光譜與已經廣泛建立的傳統FTIR光譜數據庫中的數據進行對比，從而實現快速準確的進行納米尺度下的材料化學分析。對化學成分的高敏感度與超高的空間分辨率的結合，使得nano-FTIR成為納米分析的*工具。

nano-FTIR 可以應用到對納米尺度樣品污染物的化學鑒定上。圖3顯示的Si表面覆蓋PMMA薄膜的橫截面AFM成像圖，其中AFM相位圖顯示在Si片和PMMA薄膜的界面存在一個100nm尺寸的污染物，但是其化學成分無法從該圖像中判斷。而使用nano-FTIR在污染物中心獲得的紅外光譜清晰的揭示出了污染物的化學成分。通過對nano-FTIR獲得的吸收譜線與標準FTIR數據庫中譜線進行比對，可以確定污染物為PDMS顆粒。