超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA ( LC-SEM )自從推出后，已在航kong、航天及材料科學中得到了廣泛應用。LC-SEM可以同時裝備多種探測設備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足不同的需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學和結晶體特性。幾乎對任何樣本都可實現非常準確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。

超大試樣室掃描電子顯微鏡MIRA ( LC-SEM )介紹

使用通常掃描電子顯微鏡時，面臨zui大困難之一是被測樣品的大小限制，通常情況下，只能對直徑在數十到一百毫米內小的樣本進行研究且只有一兩種關聯的分析工具，這限制了這一重要測試技術的應用。LC-SEM克服了這一點，其超大真空室和光學系統擴展視圖功能zui大可容納直徑與高度分別達1.5米，重300kg的樣品，分辨率優于10納米，放大倍數10倍-30萬倍，真空度10-6毫巴，加速電壓30kv。從一粒沙子到一個柴油發動機大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進行原位觀察，實現零部件疲勞、應力/應變、磨損等非破壞性試驗研究。

LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號，分析試樣zui大可高達：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統裝配有強大的三個泵：旋片和轉子泵應用于低真空，渦輪增壓泵應用于高真空，可實現10 -6 mbar的高真空。該系統有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內便可以實現所需的真空度。設置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。