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可控硅可靠性測試及測試標準-高溫高濕試驗(三)

閱讀:43發布時間:2023-1-28

三、高溫高濕試驗

目的:模擬非密封器件在高溫高濕環境下工作,檢驗塑封產品抗水汽侵入及腐蝕的能力。

條件: 85℃/85%RH,168hrs

失效機理:器件在高溫高濕的環境下,加速了芯片鍵合及表面的電解腐蝕,評估器件在存儲環境中對水汽的抵抗能力。

測試標準: JESD22-A101-B

適用的研發和工藝改進:

1、高溫擴散工藝技術的改進(重點是高溫長時間擴散,如隔離擴散)包括可能引起硅片內部隱裂的工藝技術改進

2、包封工藝技術、框架處理工藝技術的改進

3、塑封料、框架的變更

4、新產品(含新的封裝結構)

5、封裝工藝過程中的污染



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