產(chǎn)品介紹：

BJ-PD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重200KG，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示在數(shù)顯屏幕上，此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

產(chǎn)品參數(shù)：

1、氣路通道有：常規(guī)有2路/3路/4路，其他可根據(jù)用戶要求定做

2、氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器

3、接 口： Φ6

4、顯 示： LED

5、工作環(huán)境溫度: 5~45℃

6、流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細技術參數(shù)請查看后面）

7、四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)

8、壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格

9、截 止 閥：Φ6

質(zhì)量流量計技術參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。

產(chǎn)品指標：

1、準確度：±1.5% F.S

2、線性：±0.5～1.5% F.S

3、重復精度：±0.2% F.S

4、響應時間：10S

5、氣壓降：<0.01MPa

6、壓力：3MP

7、工作環(huán)境溫度：5～45℃

8、輸入輸出信號：0～+5.00V

9、電源：+15V 50mA -15V 50mA

10、用戶可選量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（其他量程用戶可選配）