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高等級(jí)質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號(hào)3200系列

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更新時(shí)間：2017-08-06 08:13:54瀏覽次數(shù)：2159次

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北京北方華瑞測(cè)控技術(shù)有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：141條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：楊小姐（網(wǎng)絡(luò)）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【3200系列高等級(jí)質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)特點(diǎn)】- 高精度控制- 全316L結(jié)構(gòu)- 高性價(jià)比

詳細(xì)介紹

【概述/特點(diǎn)】
KOFLOC公司簡(jiǎn)介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場(chǎng)合.
【技術(shù)規(guī)格】

3200系列高等級(jí)質(zhì)量流量控制器
適用于半導(dǎo)體、LCD、燃燒、分析、生物工藝等方面實(shí)現(xiàn)高精度的快速控制
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
控制范圍：2～*FS
反應(yīng)時(shí)間：0～*，小于等于1秒
精度：±1%以內(nèi)
線性：±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性：±0.2%以內(nèi)
使用壓差：范圍≤5SLM時(shí)，49～294KPA， 5SLM <范圍≤20SLM時(shí)，98～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–8 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L
隔膜: SUS316
閥座: PTFE
密封材料: Byton TM （可選: 氯丁橡膠）
連接：1/4SWL，可選1/8SWL，1/4VCR和1/4RC
電氣連接：9針插座
控制信號(hào)：0-5VDC
]輸出信號(hào)：0-5VDC
電源：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 200 mA