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金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

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產(chǎn)品型號5400系列

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更新時間：2017-08-07 23:04:48瀏覽次數(shù)：2427次

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北京北方華瑞測控技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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聯(lián)系人：楊小姐（網(wǎng)絡(luò)）

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產(chǎn)品簡介

【5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器設(shè)計特點】- 高精度控制，- 全316L結(jié)構(gòu)- 金屬密封

詳細介紹

【概述/特點】
KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
【技術(shù)規(guī)格】

5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

經(jīng)濟型，適用于半導(dǎo)體等行業(yè)，5400是質(zhì)量控制器，5410是質(zhì)量流量計
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
反應(yīng)時間：到達設(shè)定值±2%范圍內(nèi)≤1秒
精度：±1%以內(nèi)
線性：±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性：±0.2%以內(nèi)
使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，147～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L
隔膜：Ni-CO
閥座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
連接：1/4VCR
電氣連接：9針插座
控制信號：0-5VDC
輸出信號：0-5VDC
電源：5400：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 200 mA
　　　5410：+15 VDC （±5%） 100 mA ， –15 VDC （±5%） 100 mA