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微波化學氣相沉積爐(CVD)

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更新時間：2022-04-10 10:06:49瀏覽次數：811次

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唐山任氏巨源微波儀器有限公司

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產品簡介

產品特點：1.采用純微波加熱、～傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內的任何材料，2.升溫速率快，智能控溫，可分段設置，控溫精度高，熱慣性小

詳細介紹

產品特點：
1. 采用純微波加熱、～傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內的任何材料，

2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設置，控溫精度高，熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達10^-3Pa真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結構），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護管采用耐高溫合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風扇，降低溫度；
8、真空系統(tǒng)：機械泵擴散泵和分子泵，真空密度計
9、可通過電腦全程監(jiān)控和調試；

產品參數：

型號/model	WBMW-QXCJ4
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、混合加熱
功率/KW	4 (功率可調)
溫度測試元件	微波場專用傳感器
控溫精度/℃	±2
加熱管材質	石英管	高溫合金管	剛玉管
加熱溫度/℃	1200℃	1200℃	1600℃
管徑(外徑/內經X長度)/mm	∅45/∅35×1200，可選配，外徑∅60mm
加熱速度（）	≤200	升溫速率不限	≤50
恒溫區(qū)長度	標配恒溫區(qū)長度100mm，恒溫去長度100mm～1000mm以上可選
溫區(qū)	可多溫區(qū)同時加熱
氣路法蘭	不銹鋼法蘭
質量流量控制	美國Alicat質量流量&控制器、七星華創(chuàng)質量流量&控制器氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機自動控制系統(tǒng)及軟件
氣路數量	2路或3路（或多路）
流量范圍	0-1SLM(標準升/分，可選配）氮氣標定
精度	±0.2%F.S
響應時間	≤1sec
工作壓力	進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規(guī)格≤10SLM
系統(tǒng)連接方式	采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀
規(guī)格	高真空
系統(tǒng)真空范圍	標準大氣壓～10^-3Pa
真空泵	簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10^-1Pa真空用高檔機械泵及真空計 10^-2Pa真空用高檔機械泵、擴散泵及真空計 10^-3Pa真空用高檔機械泵、分子泵及真空計
爐腔尺寸/mm	700X350X530
加熱腔(標配)	0.5-3L 2個根據管徑、加熱區(qū)長度、加熱溫區(qū)數量確定
加熱腔大小	0.94L，2.12L，3.8L
升溫速率(標配)	0～1000℃/min可根據實際任意設定，可編程、分段加熱
外型尺寸/mm	1500´750´1560
微波泄漏/ mW/㎝	≤0.4
提供相關配件	高溫手套×1、中文說明書×1
保質期	整機免費保修1年