XAD系列熒光光譜儀是一款全元素上照式光譜儀，可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件的膜厚，也可滿足微區RoHS檢測及多元素成分分析，*的算法及解譜技術解決了諸多業界難題。

熒光光譜儀性能優勢：

1. 微小樣品檢測：小測量面積0.0085mm²

2. 變焦裝置算法：可改變測量距離測量凹凸異形樣品，變焦距離可達0-90mm

3. 核心EFP算法：Al(13)-U(92)元素的成分分析，Li(3)-U(92)元素的涂鍍層檢測，多層多元素，甚至有同種元素在不同層也可精測量

4. *的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限

5. 高性能探測器：SDD硅漂移窗口面積50mm²探測器

6. X射線裝置：微焦加強型射線管搭配聚焦裝置

7. 上照式設計：實現對超大樣品或者密集點位進行快、準、穩高效率測量

8. 大行程移動平臺：手動XY滑臺100*150mm，自動XY平臺210*260mm

應用領域：

涂鍍層分析-RoHS檢測-地礦全元素分析-合金、貴金屬檢測

一六儀器研制的測厚儀*的光路交換裝置，讓X射線和可見光攝像同一垂直線，達到視覺與測試定位一體，且X光擴散度小；與EFP軟件配合達到對焦、變焦雙焦功能，實現高低、凹凸不平各種形狀樣品的測試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，可以減少弧度傾斜放樣帶來的誤差，同時特征X射線可以穿透測試更厚的表層。