目錄:安徽科冪儀器有限公司>>爐式設備>>TFC化學氣相沉積>> 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
| 加熱方式 | 電阻絲 | 控溫精度 | ±1℃ |
|---|---|---|---|
| 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃//min | 儀器種類 | 管式爐 |
| 最大功率 | 3KkW | 最高溫度 | 1200℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
特點：高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū).并可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能；
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長溫度更低
技術參數(shù)
項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) |
可達溫度 | 1150℃（短期） | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質國產電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
射頻電源 | 射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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環(huán)保在線