高精度熱式氣體質量流量計技術參數：
| 量程 | |
|---|---|
| 儀器版本 | |
| “標準版” 經濟型解決方案 | 精度：滿量程的 ± 1.0%* 量程比： 1 : 50 |
| “高性能版” 高的精度和量程比 可用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) / GSC < 150 ln/min (150 SLPM)（空氣） | 精度：滿量程的 ± 0.3% + 讀數的 ± 0.5% * 量程比： 1 : 100 *模擬信號可能會產生 ±0.25% 的誤差 |
| 性能資料 | |
| 介質（真實氣體校準） | 高精度熱式氣體質量流量計空氣*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8（要求的其他氣體和混合氣體） *O2 & N2 用空氣校準 |
| 響應時間 | 流量計：50 ms; 控制器：150 ms |
| 可重復性 | 精度：滿量程的 ± 0.2% |
| *穩定性 | < 測量值的1% / 年 |
| 電源 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc，備詢 |
| 消耗電流 | 流量計：大值 100 mA; 控制器：大值 250 mA |
| 運行壓力 | 0.2 – 11 bar (3 – 160 psia) / GSC 閥門型 4.5 和 8： 大值 8 bara (120 psia) |
| 溫度（環境 / 氣體） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
| 機身材料 | 陽極氧化鋁，可選電拋光不銹鋼 |
| 密封 | FKM, NBR, 可選 EPDM |
| 壓力靈敏度 | < 讀數的 0.2% / bar（一般是 N2） |
| 溫度靈敏度 | 0.025% 全標度量程類型 / 1°C (<0.012% / 1°F) |
| 預熱時間 | 全精度< 1 秒 |
| 整合 & 安裝 | |
| 輸出模擬信號 | 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V |
| 輸出數字信號 | RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可視化界面 / 可選配：Profibus DP-V0, DP-V1 |
| 處理連接 | G¼” (BSPP* 母口 ) 達 60 ln/min (64 SLPM) G½” (BSPP* 母口) 達450 ln/min (480 SLPM) *英國并聯管路標準 |
| 入口部分 | 無要求 |
| 電氣連接 | Sub D 插頭9 針 |
| 安裝方向 | 任意方向（水平方向*高于 5 bar） |
| 安全性 | |
| 測試壓力 | 16 bara (240 psia) |
| 泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
| 環境防護 | IP50 |
| EMC | EN 61326-1 |
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