臭氧發生室、過濾器、減壓閥、溫度傳感器、流量計、制氧系統、PLC電源控制系統、冷卻系統、閥門、壓力表、水泵、板式換熱器、臭氧濃度檢測儀、露點儀、臭氧泄露報警儀等。

臭氧發生器是臭氧系統的一部分。為了實現完整的工業應用，還需要臭氧加藥裝置、臭氧尾氣破壞裝置、氣源裝置等相關輔助設備。
系統控制單元根據詳細的工藝要求和控制流程，對各輔助設備進行協調控制和統一調度，保證整個生產過程的準確性和可靠性。成熟的系統集成技術需要的數據和經驗積累，以適應不同行業的應用特點
① 臭氧加藥技術：為保證臭氧的充分利用，需要根據不同的工程應用特點，研究設計臭氧加藥濃度、加藥量、加藥方式和接觸時間，研制的臭氧加藥裝置，選擇合適的加藥工藝
② 廢氣銷毀技術：臭氧是對人體有害的強氧化性氣體，未被吸收的臭氧廢氣不能直接排放到大氣中。根據工程應用條件、廢氣濃度及其變化、工作氣量及其變化，研究開發廢氣分解裝置和新型催化劑，以保證臭氧廢氣的分解效率，降低能耗
③ 氣源處理技術：臭氧發生器選用現場產生的空氣或氧氣作為氣源時，原料氣中含有大量的水分、粉塵、油、烴（烴）、氫等雜質，不利于臭氧發生器的安全運行，降低了臭氧的產生效率。因此，應根據氣源中雜質的種類和含量設計開發氣源處理裝置，對氣源進行干燥、過濾和吸附
④ 系統自動化控制技術：根據臭氧應用過程，構建以臭氧發生器為核心，其他外圍設備為輔的完整臭氧系統，設計自動控制檢測系統，對供氣流量、臭氧濃度、加藥功率等進行檢測和調整，實現故障診斷，報警、自動恢復，并協調整個系統的控制，保證系統的準確性和可靠性。