目前使用臭氧代替氯消毒主要的因素，也是傳統使用氯消毒的美國、日本等都在快速發展采用臭氧處理自來水的主要原因，在于隨著水源受有機化學工業產物污染，氯消毒后會產生氯仿、溴、等氯化有機物（THM）這些物質具有致癌性，而臭氧處理中不產生二次污染化合物。臭氧還可用于游泳池水的消毒，水中的魚類致病菌也有較好的殺滅作用。廢氣處理臭氧發生器吸收作為廢氣處理的前處理工藝，僅需設置相應的排風管道及排風動力，使臭氣經本設備脫臭分解凈化，不需添加任何化學反應物質。臭氧氣對去除水中的臭氣非常有效。除工業污染外，水體中的臭氣物質也可能是由微生物引起的土味、霉味、藻味等。根據微生物研究，水中的放線菌產生了霉味，因為放線菌產生了抗生物物質，細菌死亡后就會變臭。這一發現證實了發出土味的物質是水中微生物的代謝產物，叫做geosmin(C12H18O22)，而發出霉味的化合物叫mucidune(C12H18O2)，是一種惡臭物質等，加入4.8ppm臭氧后，臭氣濃度達到50度時就會變成無臭氣，在小型實驗設備上加2ppm臭氧，可以將臭氣濃度從20降到0。在去除水中25度以下臭氣的試驗中，臭氧注入率可達0.1-1.5ppm。
除臭可采用以下方法：
惡臭氣體來源單一，可采用單純廢氣處理臭氧發生器氧化法。
臭氧+活性炭吸附法：臭氧是一種強效氧化劑，在氧化臭的同時還能打通活性炭的微空，提高活性炭的吸附能力，延長使用壽命，節省更換成本。