主要應用于食品、藥品、化妝品等行業的車間及類似場所的空氣滅菌及物品表面滅菌。根據安裝形式的不同，水處理工業臭氧發生器消毒設備可以分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。一般情況下，臭氧消毒機與制藥廠GMP車間及HVAC系統配套使用時，可分為內部和外部兩種。用臭氧發生器制造臭氧的機器叫做臭氧消毒機，臭氧在這里被用作消毒劑。
在水處理工業中臭氧消毒設備的應用
1.飲用水處理：微納米臭氧在飲用水處理中應用，除消毒效果次性污染外，還兼有除色除味，除鐵、錳，分解有機物，并具有助凝作用，有報道稱，微納米臭氧可消除水中所有對人體有害的物質。
2.游泳池水處理：目前主要采用加氯、硫酸銅等消殺手段，在水質達標的同時，還造成二次污染，使水質不穩定，刺激皮膚等惡果，尤其是氯使用潛在威脅很大，一旦泄漏會造成大面積中毒污染，使用時令人提心吊膽。微納納臭氧技術在水質*達標且無以上缺陷的情況下，還能對體菌消殺美容，更經濟的是能減少或消除用藥，降低成本，延長水質保存期。

3.養殖水處理：養殖水由于富含有機物，水質極易出問題，病菌侵染魚蝦類，在養殖水處理中，除微納米臭氧外，除能殺滅、抑制病菌侵染、侵染魚蝦類，還能降解有機物，降低化學需氧量（COD）和生化需氧量（BOD），并能起到助凝作用，是改善水質的好方法。
4.工業廢水處理：在工業廢水處理中，水處理工業臭氧發生器消毒設備應用非常廣泛，常見的有對酚、氰及印染廢水的處理。臭氧氣可使氰絡鹽中的氰快速分解，它的作用分為兩個階段，先將高毒性的氰氧化成氰，然后進一步氧化成CO2和N2，從而大大降低有毒廢水的毒性。用微納米臭氧處理含酚廢水時，對酚的降解速度與臭氧投加量和時間有關，PH值越高，處理速度越快，微納米臭氧消耗越少。除分散染料外，微納米臭氧對所有染料廢水具有脫色作用，可破壞染料的發色或助色基因，從而達到脫色的目的。