目前的河北氧氣源臭氧發生器/水處理設備主要采用介質阻擋放電的方法，其系統構成可分為四個部分：空氣處理系統，冷卻系統，電源系統，臭氧合成系統。每一個分系統在臭氧的生產過程中都扮演著重要角色。
氣源式臭氧發生器系統是以空氣為原料，通過簡單工藝（空氣壓縮機）干燥處理后，再送入臭氧合成系統產生臭氧的裝置。一般情況下，冷卻系統分為開路循環和閉路循環兩種，通常大型臭氧系統采用閉路循環方式冷卻，中小型臭氧系統采用開路循環方式冷卻。電力系統是臭氧合成的重要環節，不僅關系到臭氧系統的穩定、可靠運行，而且關系到臭氧合成效率的運行費用。臭氧產生的關健部分采用了不同的介質，放電室結構也各不相同。本文僅對氣隙放電產生臭氧的放電室作介紹。

臭氧氣發生器的工作原理是，當含氧氣體穿過兩個電極之間的放電間隙時，一部分氧分子（O2）將轉化成臭氧，從而制備臭氧。在高壓電極上，當電壓發生變化時，電極間的放電間隙會產生微放電，將氧氣分子分解為自由態的氧原子O，部分自由態的氧原子與未分解的氧氣分子重新結合，形成臭氧（O3），也就是O+O2=O3，稱為“電暈放電”或“無聲放電”。實際上，在電極上施加的電能只占制備臭氧的一部分，而在制備過程中同時產生熱量，需要通過冷卻水對臭氧發生模塊進行有效冷卻。原料氣質量和冷卻水溫度對臭氧的制備影響較大，溫度越低，河北氧氣源臭氧發生器/水處理設備的制備效率越高。