在工業污水，生活污水處理中的應用。
工業污水，生活污水處理用臭氧發生器采用電暈放電方法，在工業上產生的臭氧，可用于對含烷基苯磺酸鈉、焦油、COD、BOD、污泥、氨氮等污染物的廢水進行初步處理，也可用于含Fe2+、Mn2+、氰、酚、親水染料、細菌等廢水的初步處理。隨著水資源的日益緊張，工業和城市生活污水經處理后經?；赜茫虼吮仨毺岣呶鬯幚順藴?。通過臭氧深度處理，可以去除水中的各種雜質，從而達到循環使用的標準。
醫院污水的臭氧處理可以消毒滅菌。用臭氧處理醫院污水，可切斷傳染源，解除后顧之憂。而且臭氧能在幾分鐘內殺死所有毒，比當量氯快200~3000倍。
城鎮污水處理系統工程也已開始采用大型臭氧發生器對污水進行滅菌消毒和除味脫色。

在循環冷卻水和鍋爐給水中的應用。
水經過深度處理后，臭氧可去除循環冷卻水中形成污垢的雜質，防止堵塞管道。為了實現這一目標，當然，首先必須將氨脫除，否則氨脫除會分解殘留的臭氧，不利于維持臭氧的氧化效率，通常殘留臭氧維持在0.5mg/L左右為宜。
只有美國目前使用臭氧處理循環冷卻水，其他包括都還處于試驗階段。
工業污水，生活污水處理用臭氧發生器中的應用。
使用臭氧消毒消毒不存在任何對人體有害的殘留物(例如用氯消毒鹵化物產生的致癌物質)，對改善飲用水的消毒質量是十分有效的。
地表水中含有各種有機、無機及各種細菌、。利用臭氧對地表水進行深度處理，可基本達到優質飲用水的標準。研究表明，當水中臭氧濃度為0.4ppm時，細菌和都能被殺滅，殺滅速度要快于消毒。經臭氧深度處理的飲用水，水質優良，可防止管道內微生物生長，保護人體健康。如果僅僅用紫外線消毒消毒，只能穿過一定厚度的水層，消毒消毒不*，而用臭氧消毒可以*解決問題。如果臭氧與紫外線聯合消毒消毒，比單獨使用任何一種方法都有更好的效果，同時也節約了能源。
使用臭氧直接對自來水消毒則簡單得多，所需臭氧濃度也小得多。然而，臭氧是非常容易分解的，在它們的末端都需要加入少量的余氯，以防止再一次滋生供水管道中的細菌。

四是其他水處理。
采用臭氧對游泳池水進行消毒是國外普遍采用的。經過臭氧消毒后，池內水質清澈透明，*解決了氯消毒對眼睛、皮膚的刺激問題。在國內一些經濟發達地區，用臭氧對游泳池的水進行消毒，效果良好。
對供水的小區分質供水，必須用臭氧消毒滅菌，只有這樣才能確保飲用水始終處于無菌富氧狀態。
臭氧分解后可以生成氧氣，不僅可以提高食用水生生物的生存質量，而且還可以對它們的生活場所進行消毒消毒。但是，應避免臭氧濃度超過0.1mg/L，因為臭氧對水生生物是有害的。