空氣中臭氧消毒作為空氣除味與消毒，要求臭氧濃度較低，如0.5ppm（1mg/m3），而物品表面消毒（殺滅微生物和去除化學污染）則要求提高幾十倍的臭氧濃度。　　
空氣應用具氧濃度在1mg/m3～10mg/m3之間。　　
溫度低，濕度大則殺滅效果好，尤其是濕度，相對濕度小于45%，臭氧對空氣中懸浮微生物幾乎沒有殺滅作用。在60%時才逐漸增強，在95%時達到大值。　　
用臭氧消毒食品加工車間，0.5～1.0ppm即可殺滅空氣中的80%的自然菌。　　
冷庫消毒要求臭氧濃度6～10ppm，停機后封庫24小時以上細菌殺滅率90%左右，　　

霉菌殺滅率80%左右。在水果貯藏期間，可用2～3ppm的臭氧可使霉菌的生長受到抑制，貯藏期可延長一倍。　水中應用濃度　　

水應用中廣東大型水處理臭氧發生器設備溶解度在0.1mg/L～10mg/L之間。低值作為水消毒凈化要求的低濃度，高值作為“臭氧水消毒劑” 可達到的濃度值。　

自來水臭氧凈化，際常規標準為0.4mg/L的溶解度值，保持4分鐘，即CT值為1.6。　　
水中余臭氧濃度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可達消毒目的。　　

臭氧水消毒滅菌是急速的，消毒作用在瞬間發生。清水中臭氧濃度一旦達到，在0.5～1分鐘內就殺死細菌，在濃度達4mg/L，在1分鐘內乙肝滅活率。　　
Herbold報道：20℃條件下，水中臭氧濃度達0.43mg/L時，可將大腸桿菌殺滅，10℃時僅需0.36mg/L即可全部殺滅。　

臭氧濃度為0.25～38mg/L時，僅需幾秒或幾分鐘*滅活甲型肝炎（HAV）。　　
礦泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L時，即可滿足消毒保質要求。合理的臭氧投放量為1.5-2.0mg/L.

瓶裝水處理應達0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧應滿足 1m3水2gO3的發生量。根據實踐經驗，臭氧發生濃度高于8mg/L時容易達到濃度。

臭氧在給水凈化工藝中的主要作用有：前（預）氧化和后氧化.
　　臭氧投入水中后,與有機物的反應分為直接反應和間接反應.直接反應是臭氧直接氧化水中有機物,它是有選擇性的,它的反應速度較慢；間接反應,臭氧是通過水中形成的·OH自由基氧化有機物,它是沒有選擇性的,它的反應速度很快.
前（預）臭氧接觸氧化的臭氧投加量很少,一般為0.1.5 mg/L.且反應時間短,一般為2～4 min,反應速度快,水中余臭氧一般為零或很少
在后氧化工藝中,臭氧一般與活性炭聯合使用,其作用主要有：殺死細菌和；氧化有機物,如殺蟲劑、清潔劑、等；去除DOC；氧化分解螯合物,如EDTA和NTA等.

　后廣東大型水處理臭氧發生器設備接觸氧化的反應速度慢,反應時間一般不小于10 min.臭氧投加量一般為1.2.5 mg/L,水中余臭氧為0.0.4 mg/L.有效水深也為6 m.