通常指混合氣體中臭氧的濃度，一般用質量比和體積比表示。品質比是指臭氧在一個單位體積內所含混合氣體的品質含量，通常用mg/L,mg/m3，或者g/m3等等來表示。容積率是指臭氧在單位容積中所占的容積率，用百分比表示如2%,5%,12%等等。健康產業通常使用ppm來表示臭氧濃度，也就是說，在每立方臭氧混合氣體中，大型氧氣源臭氧發生器結構所占體積的百萬分之一等于1ppm。臭氧氣濃度是臭氧發生器的一項重要技術指標。在相同條件下，臭氧輸出濃度越高，其質量度越高。

其主要影響因素是臭氧濃度。
1.臭氧發生器的結構及加工精度；
2.冷卻方式及條件；
3.驅動電壓及驅動頻率；
4..介電材料；
5.原料氣體中氧的含量及其對干燥度的影響。
6.發電機供電系統的效率(率、低熱量轉換)；

臭氧氣是一種易氧化、不穩定的氣體，其輸出臭氧濃度受多種因素影響，其中腔溫是一個非常重要的因素；臭氧在30度左右會在1分鐘內衰減一半。當溫度為40~50℃時衰減80%。臭氧層溫度超過60℃會立即分解。
大型氧氣源臭氧發生器結構是指臭氧發生器每單位時間產生的臭氧量；臭氧濃度值與進入臭氧發生器的空氣總量值乘積，即為臭氧產率；一般用mg/h、g/h和kg/h來表示。在臭氧發生器的標準中，規定了臭氧發生器的規格型號，使用臭氧的產量表示和區別。以g/h表示的小型臭氧發生器，以kg/h表示的規模型臭氧發生器，不同的規格尺寸。