臭氧發生器處理技術是臭氧預處理或后處理技術與絮凝、氣浮、生化等其它處理技術的結合；是臭氧處理裝置本身的發展，如光催化、金屬催化氧化等。與其它處理方法結合使用的工藝流程為。
多種形態，如：①O3+生化(活性污泥，生物活性炭)；②O3+絮凝+膜處理；③O3+膜處理；④O3+氣浮(吹除)；⑤O3+活性炭吸附(絮凝+膜)。O3/固體催化劑(如活性炭、金屬及其氧化物等固體催化劑)是臭氧處理裝置自身的幾種形式。
臭氧/活性炭技術活性炭在反應中，可能會加速臭氧分解，產生像·OH這樣的自由基，就像在堿性溶液中的OH-作用一樣。活性炭在臭氧作用下降解痕量有機污染物，作為催化劑，與其他臭氧生成·OH(如提高PH值、投加H2O2、UV輻射)反應一樣，屬于氧化技術。

第三，臭氧發生器處理技術的作用及其應用包括三個過程：臭氧氧化法、活性炭吸附法和生物降解法。也就是說，在脫除有機物時，先發揮臭氧的強氧化能力，將有機物氧化為小分子有機化合物，可生物降解，然后利用活性炭良好的吸附性能將其吸附，再由吸附在活性炭上的生物對吸附在活性炭上的有機物進行生物降解，而臭氧分解產生的氧氣能提高水中的溶解氧，使水中的溶解氧常呈飽和或接近飽和狀態，又為活性炭處理過程中生物降解提供了必要條件。這種臭氧與顆粒活性炭濾池相結合的臭氧生物活性炭凈水處理工藝(BAC法)，一般置于凈水常規處理水中的有機物質，并且由于采用了生物技術，使活性炭的運行同期大大延長。