19世紀初，水處理臭氧發生器消毒消毒設備的強氧化性得到了廣泛的認可，人們發現臭氧對木材、稻草、淀粉、植物色素、天然橡膠、脂肪、動植物油和酒精等都有氧化作用。一八六八年，德格貝斯(de.Gebeth)獲得了臭氧使用技巧的項，他利用臭氧將煤焦油混合物氧化成適合涂漆、涂漆的產品。在1873年，歐洲把臭氧應用于糖精和亞麻漂白。臭氧滅菌在消毒中的應用在過去的一百多年中已經深入到許多域，為人類生產技能的發展做出了巨大貢獻。根據使用用途，臭氧消毒按照水質處理、化學氧化、食品加工保鮮和醫療四大類劃分，每一類的臭氧消毒設備的研制均已達到相當高的水平?，F在，世界上已經形成了立的臭氧技術產業和組成部分，于1973年成立了世界臭氧協會，該協會位于加拿大。本學會每兩年舉行一次世界會議，就各發展臭氧技術的論文、報告進行交流，發達家遍及各地設立際臭氧協會區域組織，進行學術交流。

第二次世界大戰后，水處理臭氧發生器消毒消毒設備在世界范圍內的使用技能得到了大的發展。一，1902年，德帕德博恩建立了一個大型水廠，利用臭氧來處理水質，開創了臭氧水處理的先河，目前世界上歐美、日本、加拿大等數以千計的臭氧水廠已經開始使用臭氧來消毒。廠家幾乎都配有礦泉水，純凈水，臭氧消毒設備。70年代初期，美開始用臭氧處理日間污水，主要目的是消毒消毒，去除污染物，脫色等達到排放標準。在缺水地區，日本則采用臭氧處理污水，作為中水使用。近幾年，美、日、德、法等建立了大型臭氧處理設施。第二，工業用臭氧消毒也已經非常普遍，主要用于化工、石油、造紙、紡織、制藥、香料等行業。食品業的使用范圍更廣，1904年，歐洲使用臭氧來保存牛奶、肉制品、奶酪和蛋白質等食品，在30年代后期，臭氧發生器被安裝在80%的美冷藏蛋庫中。第二次世界大戰之后，歐美、日等將臭氧消毒法應用于食品水果、蔬菜的儲藏、制造、運輸等環節。就醫學而言，二戰時日本用臭氧做人體，俄羅斯用來做強氣體(臭氧化空氣)的運動者。