從反應器庫中輸入到臭氧發生器中，水處理工業用臭氧發生器必須使用標準再生干燥器中的壓縮空氣。如今水處理工業已經越來越多地采用臭氧代替氯來處理純凈的水。適用場合主要有：飲用水生產、食品生產用水、制藥生產用水、游泳池水和污水處理后的污水在投入循環前進行消毒。
過去，人們曾大規模使用氯化處理來消毒水。但是，除成本外，該工藝在水運輸和氯化系統的應用中也存在著很大的人類健康和安全風險，因為氯排放到水中會造成嚴重的環境污染，此外，氯還會產生有害的副產物，即氯化碳，即致癌物質。由于上述種種原因，近年來臭氧消毒技術在水處理行業的應用日益廣泛。
臭氧氣與氯化反應具有相同的水處理效果，都是一種氧化劑，能夠殺滅水中的雜質(尤其是微生物介質)，并將其分解成無害的殘留物，從而過濾出水系統。其優點是，臭氧在對微生物產生作用后，會裂變成*無害的氧原子。在臭氧發生器上應用露點儀，露點的測量是關鍵，測量過程中的空氣或氧氣露點有三個必要的原因：防止發生器電產生電弧，防止發生器部件因氮酸形成而腐蝕，提高臭氧效率。

當進入水處理工業用臭氧發生器的氣體中有大量的水分時，就會使電產生電弧，端情況下會發生電接觸擊穿腔壁的現象。弧線會損壞電和系統的外殼，會導致系統癱瘓并造成昂貴的維修。在使用過程中，臭氧產生時電弧產生的副作用會使氮和水變成氮酸和其他氮化合物，導致電和系統部件腐蝕，使臭氧發生器癱瘓。臭氧氣發生器的效率與輸入氣體的潮氣含量成反比。如將濕度從50ppm降低到5ppm(-50-70攝氏度露點)，則發生器的效率提高20%。
通常技術指標規定，輸入空氣或氧氣的低露點為-50攝氏度，但如果精確的干燥控制使其降-70攝氏度露點，則可顯著改善發生器的工作效率和壽命。結合干燥控制系統，產氣量較大程度干燥，產氣量高，產氣量大，壽命長。