在濕法脫硫系統中，臭氧發生器脫硫脫硝處理設備適用于以脫硫塔為吸收塔，脫硫液為吸收液；而臭氧氧化氨氣中的NOX則通過吸收液吸收產生硝酸鹽外排。干或半干脫硫系統，則需增加吸收塔，用于吸收NO2、NO3、N2O5等經臭氧氧化后產生的氣體，產生硝酸鹽，可在以后投入和操作方面比濕法要昂貴。
當脫氮需求較低時，臭氧脫硝過程比活性炭和SCR法運行成本更低。臭氧脫硝工程具有僅次于氟的強氧化性，完將煙氣等惡劣環境中的NO氧化為高價態，并能提高煙氣中氮氧化物的水溶性，使其經濕法洗脫。雖然臭氧同時脫硫和脫硝技術具有明顯的一體化脫硝特點，但臭氧脫硝成本高，使其應用受到限制。

煤是主要能源。燃燒過程排放的二氧化硫、NOx等污染物總量較大，對大氣環境造成污染，同時對人體健康也有一定的危害。在二氧化硫的控制方面，目前比較成熟的技術是石灰石法，即石膏法。該方法脫除率可達95%，除此技術外，還可用于爐內噴鈣脫硫、電子束脫硫等。
臭氧發生器脫硫脫硝處理設備原理是臭氧能將難溶于水中的一氧化氮氧化為某些高價態的氮氧化物，而它又溶于水。

由于對環境保護的要求越來越高，傳統的煙氣脫硫脫硝工藝已不能滿足其嚴格的要求。而傳統的加工工藝存在著設備投資大、占地面積大、系統復雜等諸多問題。因此說現在研究開發新工藝簡單可靠的脫硫脫硝十分重要。