詳細介紹
Agilent 7500 ICP-MS電感耦合等離子體質譜-ICP-MS,是一種新型的無機元素和同位素分析技術,可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素。ICP-MS技術在分析能力上,超過傳統的無機分析技術如電感耦合等離子體光譜技術(ICPAES)、石墨爐原子吸收(GFAAS)和汞冷原子吸收技術(CVAAS)的總和,被稱為當代分析技術激動人心的發展。
近,與分離技術聯用進行環境毒理、生命科學等領域的元素價態、形態分析成為ICP-MS技術應用的一個焦點。
電感耦合等離子體質譜產品參數:
● 可快速同時檢測周期表上幾乎所有元素
● 低的檢出限(低至ppq級)
● 分析效益/成本比好
● 寬的線性動態范圍—可直接檢測從ppq到數百ppm濃度
● 譜線簡單、干擾小,準確度和精密度好
● 需要樣品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分鐘/樣品)
● 檢測模式靈活多樣
半導體工業常用材料中超痕量污染物分析:
固體:Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料;高純金屬電極等
液體:超純水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
氣體:SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS可直接分析有機樣品:
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等離子體技術已被用于測定一系列有機樣品的ppt級痕量污染元素。
● 對其中一些樣品,其他方法無法得到滿意的結果,高功率屏蔽矩冷等離子體技術是一的分析方法。
● 強堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等
● 常用有機溶劑——甲苯、二甲苯、IPA等
● 高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發性*的清洗劑——丙酮、甲醇等。