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全自動(dòng)曝光機(jī)

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更新時(shí)間：2021-03-22 15:33:07瀏覽次數(shù)：1182次

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半導(dǎo)體前道儀器設(shè)備

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武漢賽斯特精密儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：1668條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：左斌斌（銷售經(jīng)理）

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全自動(dòng)曝光機(jī) OAI在半導(dǎo)體行業(yè)中擁有超過(guò)40年的制造經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)新的精英級(jí)光刻設(shè)備滿足了日益增長(zhǎng)的動(dòng)態(tài)市場(chǎng)挑戰(zhàn)。

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)曝光機(jī)

適用于: 半導(dǎo)體, MEMS, 傳感器, 微流體, IOT, 封裝

OAI在半導(dǎo)體行業(yè)中擁有超過(guò)40年的制造經(jīng)驗(yàn)，通過(guò)新的精英級(jí)光刻設(shè)備滿足了日益增長(zhǎng)的動(dòng)態(tài)市場(chǎng)挑戰(zhàn)。

基于悠久的OAI模塊化平臺(tái)，6000系列具有前端或后端對(duì)齊，全自動(dòng)化，亞微米分辨率，可提供與比的性價(jià)比。

OAI Aligners擁有*光束光學(xué)元件，其均勻性優(yōu)于±3％，在一次掩模模式下每小時(shí)可產(chǎn)生180片晶圓，從而提高產(chǎn)量。 6000系列可以處理超厚和鍵合襯底（高達(dá)7000微米），翹曲晶圓（高達(dá)7 mm-10mm），薄襯底（低至100微米厚）和厚光刻膠等各種晶圓。

憑借越的工藝可重復(fù)性，6000系列是所有生產(chǎn)環(huán)境的完美解決方案。選擇使用OAI基于Cognex的定制模式識(shí)別軟件的正面或可選背面對(duì)齊。對(duì)于整個(gè)光刻過(guò)程，Seriesl 6000可以與集群工具無(wú)縫集成。

優(yōu)勢(shì)：

· 全自動(dòng)

· 上側(cè)對(duì)準(zhǔn)

選配：

· 底側(cè)對(duì)準(zhǔn)

· DUV 至 NUV

· 集群工具集成

· 客戶定制化軟件

全自動(dòng)曝光機(jī)

規(guī)格：OAI系列 6000 掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

曝光系統(tǒng)

曝光模式

真空接觸

硬接觸

軟接觸

近接觸（20μ gap）

分辨率

0.5-0.8μ

0.8-1.0μ

1.0-3.0μ

3.0μ

*的光學(xué)系統(tǒng)

均勻光束尺寸：

2” -200mm 正方形/圓形

200mm-300mm 正方形/圓形

均勻性

優(yōu)于±3%

攝像頭

帶CCTV擴(kuò)展景深的雙攝像頭

對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

圖案識(shí)別

帶OAI客戶定制軟件的Cognex VisionProTM

對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)度

上側(cè)0.5μm

從上到下可選背面對(duì)齊的1.0μm

預(yù)對(duì)準(zhǔn)確度

優(yōu)于±5μm

自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

從上到下

上側(cè)

晶圓處理

基版尺寸

2” -200mm 圓形或正方形或 200mm-300mm 圓形或正方形

薄晶圓

薄至100μm

翹曲的晶圓

翹至 7mm-10mm

厚和粘合襯底

厚至7000μm

關(guān)鍵詞：傳感器



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