探針臺專注于物理、化學(xué)和材料等領(lǐng)域的科學(xué)儀器研發(fā)、制造、銷售、服務(wù)為一體的綜合型高科技企業(yè)。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實驗環(huán)境。
自2011年成立至今，已研發(fā)出各種類型的電磁鐵、液氮型低溫恒溫器、液氦型超低溫恒溫器、制冷機系統(tǒng)集成、高溫真空磁場退火爐系統(tǒng)、Helmholtz線圈全套解決方案、高穩(wěn)定性雙極性電源、霍爾測量系統(tǒng)、電輸運測量系統(tǒng)、磁光克爾測試系統(tǒng)、高低溫磁場真空探針臺測試系統(tǒng)等，并可根據(jù)用戶需求，定制出各種類型的實驗產(chǎn)品。
這些產(chǎn)品可以用于很多領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體，微機電系統(tǒng)，超導(dǎo)體，電子學(xué)，鐵電體，材料學(xué)，物理學(xué)和光學(xué)等。低溫探針可用于桌面或獨立系統(tǒng)，包括一個使用液氦或液氮（溫度范圍從低于4K到475K，可選600K）的超高效率連續(xù)流系統(tǒng)，且提供不對樣品造成任何振動的快速冷卻法。探測設(shè)備使用典型的單系統(tǒng)四探針法（也支持雙探針，六探針或八探針）測量直流脈沖，低頻率信號或微波信號或同時使用兩種信號。我們制造的每套系統(tǒng)都采用標準的品質(zhì)工藝。所生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)成為您所有的對于標準和定制低溫系統(tǒng)的需求的Z佳選擇。
※探針臺選型注意事項
※Z大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，Z小的單顆芯片尺寸？
※探針臺機械精度要求多高？
※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？
※Z多需要幾個探針同時去點測？
※是否會用到探針卡測試？
※光學(xué)顯微鏡的Z小分辨率需要用到多少？
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？
※探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下？低
電容要求是否要做到0.1pf？是否有射頻需求？
※接駁的測試儀器接口有哪些？
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？
高低溫真空探針臺
探針臺產(chǎn)品概述：
可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持Z高67GHz頻率)，探針熱沉設(shè)計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。
探針臺應(yīng)用范圍：
高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
探針臺可選附件：
þ 防震桌
þ 多級壓縮制冷機
þ 機械泵/分子泵組/離子泵
þ 射頻部件
þ 各類型頻率真空接頭
þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
þ 各類探針夾具
þ Chuck運動裝置
þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
þ 1Mpa正壓系統(tǒng)
þ 超高溫升級選件
þ 超高真空升級選件
探針臺技術(shù)指標：
型號 | T81-50探針臺 | T80-50探針臺 |
制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 閉循環(huán)制冷機 |
腔體材質(zhì) | 無磁不銹鋼或者鋁合金 |
真空度 | Z高真空10-8Pa |
真空腔觀察窗尺寸 | 2inch（可選） |
控溫范圍 | 4.2K-450K | 5K-450K |
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關(guān) |
溫度穩(wěn)定性 | 0.1K控溫儀相關(guān) |
降溫時間 | 40min | 150min內(nèi)，視制冷機功率定 |
溫度傳感器 | 硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個） |
加熱電源 | LVDC 低壓直流 |
樣品臺材質(zhì) | 鍍金無氧銅 |
樣品臺尺寸 | 直徑20-50mm，可選100mm |
樣品臺平整度 | ≤7μm |
樣品臺固定方式 | 固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動） |
樣品臺振動級別 | ≤50納米 | ≤1μm（三級減震） |
探針臂數(shù)量 | 2個、4個、6個、8個可選 |
探針臂機械精度 | ±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選） |
探針種類 | 鎢、鈹銅、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針） |
探針調(diào)節(jié) | 真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動控制 |
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X |
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm |
電力需求 | 220V 50-60Hz |
探針臺武漢賽斯特儀器廠家生產(chǎn)
探針臺武漢賽斯特儀器廠家生產(chǎn)
