與宏觀硬度相比，顯微硬度測量結果的精確性、重現性和可比較性均較差。同一材料，在不同儀器上，由不同試驗人員測量往往會測得不同結果，即使同一材料，同一試驗人員在同一儀器上測量，如果選取的載荷不同，其測量結果的差異也較大，難以進行比較。導致這一后果，不僅與儀器精度、試樣制備優劣、樣品成分、組織結構的均勻有關，最主要的是在小負荷下載荷與壓痕不遵守“幾何相似定律"。

宏觀維氏硬度應用的公式是建立在“硬度與負荷無關"的幾何相似定律基礎之上的，其在10－100Kg載荷下試驗得到證實。然而在小負荷下（1－1000G）的試驗結果表明：幾何相似定律不再適用。由于壓痕的彈性回復所致，使同一試樣的相同測試對象在載荷變化時顯微硬度值不相等。

哈納門（HANEMANN）提出：既然顯微硬度值的差別是由壓痕大小引起的，故此以一定尺寸的壓痕對角線長度計算的硬度值H5μ，H10μ,H20μ作為顯微硬度的比較標準。在硬度測試中，不可能得到*與標準壓痕相同的壓痕長度，因此需要首先測出不同載荷的硬度值（5－6個），并繪出壓痕對角線長度D與顯微硬度HM的關系曲線。再從曲線上求得H5μ，H10μ,H20μ。