高精度光譜儀將復色光分離成光譜的光學儀器,光譜儀有多種類型，除在可見光波段使用的光譜儀外，還有紅外光譜儀和紫外光譜儀。按色散元件的不同可分為棱鏡光譜儀、光柵光譜儀和干涉光譜儀等。按探測方法分，有直接用眼觀察的分光鏡，用感光片記錄的攝譜儀，以及用光電或熱電元件探測光譜的分光光度計等。單色儀是通過狹縫只輸出單色譜線的光譜儀器，常與其他分析儀器配合使用。

 高精度光譜儀

測量需要知道單色儀的透射率：對于相對測量，以各種波長處的相對單位可以測量透射率。真空紫外線的這些測量有相當大的實驗困難，因此通常使用輔助單色儀。在各種入射角的情況下分別測量衍射光柵的效率。在許多實驗步驟中已成功地避免了校準上的困難。

 當輻射投射到原子蒸氣上時，如果輻射波長相應的能量等于原子由基態躍遷到激發態所需要的能量時，則會引起原子對輻射的吸收，產生吸收光譜。基態原子吸收了能量，外層的電子產生躍遷，從低能態躍遷到激發態。

 已知所需樣品元素的吸收光譜和摩爾吸光度，以及每種元素都將優先吸收特定波長的光，因為每種元素需要消耗一定的能量使其從基態變成激發態。檢測過程中，基態原子吸收特征輻射，通過測定基態原子對特征輻射的吸收程度，從而測量待測元素含量。

(1) 檢出限低，靈敏度高。火焰原子吸收法的檢出限可達到 10-9級，石墨爐原子吸收法的檢出限可達到 10-14～10-10g。

(2) 分析精度好。火焰原子吸收法測定中等和高含量元素的相對標準差可小于 1%，其準確度已接近于經典化學方法。石墨爐原子吸收法的分析精度一般為 3%～5%。

(3) 分析速度快。原子吸收光譜儀在 35 min 內能連續測定 50 個試樣中的 6種元素。