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北京同林科技有限公司
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閱讀：191發布時間：2022-7-4
超純臭氧發生器（高濃度臭氧氣體發生器）臭氧濃度能達到99%嗎
此超純臭氧發生器不是我們常見的高濃度臭氧發生器，此款是發生器出口臭氧濃度為99%臭氧，不含混合氣體。原理如下：
臭氧發生器中產生的臭氧氣體在低溫冰箱中冷卻，高純度液態臭氧通過在臭氧室中的分離和積累而被冷卻。 該系統通過液體臭氧的蒸發能夠連續供應高純度臭氧氣體。該裝置可以安全，連續地生產濃度接近100％的臭氧氣體。
產品特色
超純臭氧發生器是液化和儲存臭氧氣體并連續供應高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導體工藝中的氧自由基產生源。為了安全起見，本機具有足夠的安全措施。
安全測量
請始終在高純度和低壓條件下運行，以確保系統安全。
安全設計
•防爆設計
•通過電源使用故障安全系統進行溫度/壓力控制。
可靠性
•具有緊急吹掃機制，以在停電時稀釋工藝氣體管線中的臭氧并排放設備內的殘留臭氧。
•發生任何異常情況時（制冷機具有防止臭氧爆炸的運行維護功能），可以通過EMO（緊急關閉）開關手動切換。
•即使在不太可能發生的爆炸中，該結構的設計也可以通過將液化室容納在真空絕緣的不銹鋼容器中來防止對外部設備造成任何機械損壞。
•液態臭氧冷卻裝置的熱量足以容納液態臭氧的累積量，從而降低了由于振動而迅速汽化的風險，否則這是爆炸的危險因素。
標準認證
•本機符合國際標準：SEMI-S2，UL，NFPA，CE等。
質量保證
•通過第三方認證機構的示蹤氣體測試來驗證氣體泄漏的安全性。
| 領域 | 類別 | 適用技術 | 預期效果 |
|---|---|---|---|
| 環境 | 水處理 | 純臭氧處理方法 | 消毒，除臭和脫色 |
| 藥物治療 | 醫用器材 | 純臭氧處理方法 | 滅菌和制藥（有機合成） |
| 電影 | 與FPD相關 | 添加氣體處理方法 | 觸摸屏等的表面改性和涂膜 |
| 半導體安裝相關 | FPC等的表面改性和涂膜 | ||
| 食品相關 | 包裝材料的表面改性 | ||
| 電池相關 | 太陽能電池等薄膜的表面改性 | ||
| 用料 | 會員 | 純臭氧處理方法 | 碳納米管改性和球形硅氧化 |
| 電池 | 電極 | 添加氣體處理方法 | 電極部件修改 |
| 半導體 | 成膜工藝 | •純臭氧處理方法 •UV臭氧CVD工藝方法 •添加的氣體處理方法 | 氧化，CVD，絕緣膜改性，灰化和干洗 |
| 平版印刷 | 光掩模修改，精密零件清潔和EUVL | ||
| *的系統 | 微機電系統 | •純臭氧處理方法 •添加氣體處理方法 | 灰化和干洗 |
| 納米壓印 | 干洗壓模 | ||
| 微加工相關 | 高溫超導膜和分子束外延（MBE） | ||
| 印刷電子 | 印刷步驟前后的表面改性和涂層 |
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