詳細介紹
RGA系列殘余氣體分析儀
可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。
RGA系列氣體分析儀特點
◇100,200,和300amu
◇優于1amu的分辨率
◇6個量級的動態范圍
◇可檢測5 x 10-14Torr
◇實時RGA Windows和LabVIEW軟件
◇質譜,泄漏檢測和壓力對時間方式
◇現場可更換的電子倍增器和燈絲
◇RS232計算機接口
RGA系列殘余氣體分析儀選型表
氣體分析儀(RGA)劃分為100、200、300amu三種型號,其優異的性能使其成為真空分析儀中先產品。每一個RGA系統都由一個四級桿探針和電子控制單元組成,實時分析windows軟件包可以更方便用于數據采集和分析,并可進行遠程控制。
探測器類型 標準法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率 優于0.5amu
靈敏度(A/Torr) 2 × 10?4 (FC), <200 (EM).
探測極限 5 × 10?11 Torr (FC),5 × 10?14 Torr (EM)
測試范圍 10?4 Torr to UHV (FC 10?6 Torr to UHV (EM)
操作溫度 70 °C (max.)
工作溫度 300 °C (without ECU)