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楊女士
市場部經理
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產品簡介
詳細介紹
半導體超純水
美國總統簽署了《2022芯片與科學法案》，設置“中國護欄”條款，限制企業在中國芯片產業的發展。事實上，中國芯片產業被卡脖子由來已久，原料、技術、供應鏈等方方面面深受外國掣肘，甚至是我們最常見的水，當然，這里的水指的并不是我們日常生活中的自來水，而是“超純水”。
超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。
產品介紹：
Onyx的EX-UPW-TOC產品主要由高透185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內外電解拋光的一體化紫外反應器，高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統組成。
185nmUV主要用于生產超純水過程中去除TOC有機物，降低TOC出水指標，使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。
電子級水UV-TOC控制系統
半導體超純水產品規格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮流器 | 50~100%輸出功率可調 |
| 反應器材質 | 316L |
| 潔凈等級 | 內外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級 | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統 | 本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統 |
| UV強度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
集成電路超純水應用領域：
1. 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路板
2. 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
3. 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
4. 黑白顯像管熒光屏的生產、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗
5. 液晶顯示器的生產、屏面清洗
6. 集成電路生產中高純水清洗硅片
7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產
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