廢氣經過去塵增濕或降溫等預處理工藝后，從濾床底部由下向上穿過由濾料組成的濾床，惡臭氣體由氣相轉移至微生物混和相，通過固著于濾料上的微生物代謝作用而被分解掉。又可細分為土壤脫臭法、堆肥脫臭法、泥炭脫臭法等，脫臭過程不易控制，運行一段時間后容易出現問題，對疏水性和難生物降解物質的處理還存在較大難度。
脫臭原理同生物濾池式類似，不過使用的濾料是諸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供營養物的惰性材料，只有針對某些惡臭物質而降解的微生物附著在填料上，而不會出現生物濾池中。和微生物群同時消耗濾料質的情況；池內微生物數量大，能承受比生物濾池大的污染負荷，惰性濾料可以不用更換，造成壓力損失小，而且操作條件極易控制需不斷投加營養物質，而且操作復雜，使得其應用受到限制。
洗滌式活性污泥脫臭法是將惡臭物質和含懸浮物泥漿的混和液充分接觸，使之在吸收器中從臭氣中去除掉，洗滌液再送到反應器中，通過懸浮生長的微生物代謝活動降解溶解的惡臭物質。有較大的適用范圍，可以處理大氣量的臭氣，同時操作條件易于控制，占地面積小，但是設備費用大，操作復雜而且需要投加營養物質。脫臭原理是采用烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收。
曝氣式活性污泥脫臭法是將惡臭物質以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質適用范圍廣。活性污泥經過馴化后，對不超過負荷量的惡臭成分，去除率可達以上。受到曝氣強度的限制，該法的應用還有局限。三相多介質催化氧化工藝是反應塔內裝填的固態復合填料，填料內部復配多介質催化劑。
