AL120晶圓搬送機可對應200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以安全高效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

AL120晶圓搬送機

適應范圍廣、搭配靈活

對應多種尺寸組合

我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據檢查模式，選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

薄片檢查

對應薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設計可以搬運整盒25枚90 μm的極薄晶圓。

高度實用性

進一步優化的宏觀檢查

• 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉，更為容易發現傷痕和微塵。

• 利用360゜旋轉功能，*可以目視檢查整個晶圓（包括邊緣）。此外，在表面宏觀檢查中，使用操縱桿可隨意將晶圓zui大傾斜30゜進行觀察。

元中銳科集成檢測技術有限公司是工業檢測技術和系統集成商。是日本奧林巴斯（OLYMPUS）株式會社工業顯微鏡，半導體檢查系統，工業內窺鏡的代理商。致力于為工業制造和科研領域用戶提供顯微分析，圖像分析，缺陷識別和檢驗, 無損探查, 品質管理, 計量，過程控制等專業檢測設備，依托強有力的技術資源及完善專業的售后服務與維修體系，向用戶提供專業成熟細致的服務及全面地解決方案。服務對象涵蓋科研院校，航天，冶金，電力，地質，石油石化等材料研究行業，機械及微機械領域，以及電子領域，光電顯示制造,電子零件制造, 半導體，液晶及MEMS,NANO等諸多領域，為用戶提供*的儀器和完善的解決方案，為用戶工作提供強有力的技術的支持。