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熱破壞是當前運用較為普遍也是探討較多的有機廢氣處理方式 ,特別是對低濃度有機廢氣，有機化合物的熱破壞可分成直接火焰燃燒和催化燃燒。直接火焰燃燒是一種有機物在氣流中直接燃燒和輔助燃料燃燒的方式。大部分狀況下,有機物濃度值較低 ,不足以在沒有輔助燃料時燃燒。直接火焰燃燒在適度溫度和保留時間條件下,可以達到 99%的熱處理效率。

催化燃燒是有機物在氣流中被加熱,在催化床層功能下,加速有機物化學反應(或破壞效率的方式 ) ,催化劑的存在使有機物在熱破壞時比直接燃燒法需要更少的保留時間和更低的溫度。催化劑在催化燃燒系統中起著重要功效。用以有機廢氣處理凈化的催化劑主要是金 屬和金屬鹽 ,金屬包括貴金屬和非貴金屬?，F階段運用的金屬催化劑主要是 Pt、 Pd,技術成熟 ,并且催化活性高 ,但價格比較昂貴而且在處理鹵素有機物 ,含N、 S、 P等元素時 ,有機物易發生氧化等作用使催化劑失活。非金屬催化劑有過渡族元素鈷、 稀土等。近年來催化劑的研制不論是國內還是國外進行得較多 ,而且多集中于非貴金屬催化劑并取能得了很多成果。例如V2O5\#+MOX (M:過渡族金屬 )\#+貴金屬制成的催化劑用于治理甲硫醇廢氣 , Pt\#+ Pd\#+ Cu催人劑用于治理含氮有機醇廢氣。

因為有機廢氣中常會冒出殘渣 ,很非常容易造成催化劑中毒,造成催化劑中毒的毒物 (抑制劑主要有磷、 鉛、 鉍砷、 錫、 汞、 亞鐵離子鋅、 鹵素等。催化劑載體起著節約催化劑 ,增加催化劑合理面積 ,使催化劑有著必須機械強度 ,減小燒結 ,提升催化活性和穩定的功效。能作為載體的材料主要有AL2O3鐵釩、石棉、 陶土、 活性炭、 金屬等 ,常見的是陶瓷載體通常制成網狀、 球形、柱狀、峰窩狀。另外近些年研究較多且成功的有絲光沸石等。對催化燃燒來講 ,將來研究的重點與熱點仍將是探索高效高活性的催化劑及其載體 ,催化氧化機理。