詳細介紹
現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。
發射掃描電子顯微鏡通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現有機型相比提高了20%左右。
此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的性能。
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*Regulus8240/8230/8220
發射掃描電子顯微鏡特色
- 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的佳性能
- 與現有機型相比分辨率提高了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2