該球差校正掃描透射電子顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍，進一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時，該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置，可以以后加配球差校正進行升級。

球差校正掃描透射電子顯微鏡特色
 

高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像

• HAADF-STEM圖像0.136 nm，FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
• HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)
• 明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)

高速，高靈敏度能譜分析：探針電流×10倍

• 元素面分布更迅速及時
• 低濃度元素檢測

操作簡化

• 自動圖像對中的功能

從樣品制備到觀察分析實現無縫連接

• 樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容

配有各種選購件可執行各種評估和分析操作

• 同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
• 低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至低)
• 高精度放大校準和測量*
• 實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
• 采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*，具有自動傾斜圖像獲取功能。
• ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)