電鏡球差校正技術(shù)的實(shí)用化，使得同時(shí)進(jìn)行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立*公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
無損檢測(cè)設(shè)備
水質(zhì)檢測(cè)儀
HD-2700帶有球差校正的場(chǎng)發(fā)射掃描透射電子顯微鏡
電鏡球差校正技術(shù)的實(shí)用化，使得同時(shí)進(jìn)行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立*公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡（STEM）。
HD-2700通過球差校正，用大會(huì)聚角獲得了亞納米級(jí)電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進(jìn)步。
HD-2700共有三種型號(hào)，分別是配有球差校正的高分辨型和標(biāo)準(zhǔn)型，以及無球差校正型，可根據(jù)應(yīng)用需求選擇。
特點(diǎn)：
1. 高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DFSTEM像（標(biāo)準(zhǔn)型）
2.增加了探針電流（約為非校正的STEM探針電流的10倍），可以進(jìn)行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時(shí)間內(nèi)獲得元素的面分布圖
*檢測(cè)微量元素成為可能
3.簡(jiǎn)化的操作
*提供了的GUI自動(dòng)調(diào)節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數(shù)據(jù)獲得和zui終分析
5.多種評(píng)價(jià)/分析功能可選
*同時(shí)獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實(shí)時(shí)元素Mapping系統(tǒng)（DF-STEM像可以同時(shí)獲得）
*實(shí)時(shí)衍射（DF-STEM像和衍射像可以同時(shí)觀察）
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進(jìn)行三維分析（360度旋轉(zhuǎn)）
*精確的放大倍率校準(zhǔn)功能
技術(shù)指標(biāo)： | 項(xiàng)目 | 描述
|
分辨率
（晶格分辨率） | 1、配有球差校正的標(biāo)準(zhǔn)型 0.144nm，電子槍：冷場(chǎng)或熱場(chǎng)
2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm，電子槍：冷場(chǎng)
3、無球差校正型 0.204nm，電子槍：熱場(chǎng) |
| 加速電壓 | 200KV |
| 放大倍率 | 100x -10,000,000 |
| 圖像模式 | 圖像模式 相襯度像（TE像）
原子序數(shù)襯度像（ZC像）
電子衍射花樣（可選）
特征X射線像（可選 ：EDX）
EELS像（可選 ：ELV-2000） |
| 電子光學(xué) | 電子槍 場(chǎng)發(fā)射電子源，內(nèi)置陽(yáng)極加熱器
透鏡系統(tǒng) 兩級(jí)聚光鏡、物鏡、投影鏡
球差校正器 六極/傳輸 雙重（標(biāo)準(zhǔn)型和高分辨型）
掃描線圈 兩級(jí)電磁線圈
電位移 0.5μm |
| 樣品桿 | 類型 側(cè)插式
移動(dòng)范圍 X,Y=±1mm，T=±30°（單傾樣品桿） |
| 操作系統(tǒng) | Windows XP |
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