在線分析儀的使用維護各臺分析儀器的日常維護除嚴格按儀器使用說明書的要求做外，還需注意以下幾點：
01若空分長時間停機、或停機加溫，應將分析儀器的進樣閥置于切斷位置，同時將分析樣品氣管從進分析柜入口脫開，將樣品氣導壓管與空分容器一道加溫吹掃干凈。
02在測量時，為減小測量的滯后性，在保證分析儀器的測量流量下，盡可能的將儀器的旁通流量開大。
03微量氧和微量二氧化碳的零點校對，目前比較常用的方法是在其零點樣氣處理系統增加一套除微量二氧化碳或微量氧、氮的純化裝置，在成套分析系統剛投運時是可行的，但隨著時間的推移，各臺純化裝置均會跟大氣接觸而失效，這樣校對儀器的零點就不準確。我們的做法是借鑒儀表的遷移原理，用離線分析儀分析一瓶高純氬標準氣，測得高純氬中的O2含量和CO2含量作為校對微量氧和微量二氧化碳分析儀的零點氣，在校儀器零點時，將儀器的零點校對到該測定值，即將儀器的零點遷移至0.1∽0.3ppm左右，再校儀器的量程，實踐證明，采用這一方法是可行的。
04微量氧分析儀的原電池是易耗品，當樣品氣中氧含量過高時應迅速切斷儀器的進出閥，若儀器長期不使用，應考慮將一純度較高的氬氣通入儀器作保護氣，但要注意保護氣的壓力不應大于10KPa,否則產生的背壓過大易將原電池膜損壞。
