高溫煙氣濕度儀又稱高溫水分儀或高溫露點儀，用于測量污染源排放煙氣濕度、并據此將濕煙氣濃度轉化為干煙氣濃度，也可用于工業在線濕度監測。采用*高溫濕敏電容測量技術，且有多種結構形式可選。
優勢：
1)氣體選擇性好
所用激光器為窄線寬半導體激光器，線寬遠小于氣體特征吸收光譜。對比傳統紅外測試方法，窄帶激光不受其他吸收譜線干擾，穿過氣體即攜帶被測氣體吸收信息，可實現濕度變化的快速測量。
2)測量范圍大
高溫煙氣濕度儀采用多種高精度算法，使測量可實現低濃度到高濃度（幾ppmv~一百萬ppmv）的大跨度測量：
TDLAS技術可以做到常規溫度（-40℃~80℃）下真正的0-99%RH全量程測量，對應濕度1ppmv~1000000ppmv；露點：-80℃~80℃。
3)響應速度快，靈敏度高
相比濕敏電容、濕敏電阻傳感器，光學原理本身就具備測量速度快的優勢。傳統檢測設備響應實現為秒級或分鐘級響應時間，TDLAS系統響應時間為毫秒級，而且不存在高濕遲滯現象。采用半導體光源，光源發出的檢測氣體特定光譜效率高，同時采用信號處理算法，檢測精度，可達1ppm（百萬分之一）量級。
4)安全可靠，穩定性高
高溫煙氣濕度儀采用非接觸式方法測量氣體，具有本安或隔爆設計，系統傳感器通過光纖連接，不會引爆設備，同時，設備不會受到電磁環境干擾，也不會干擾其他設備。
