陳先生
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處理水量 | 2m3/h | 加工定制 | 是 |
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空氣量 | 0.5m3/min | 備注 | 所有參數以和客服核實為準 |
芯片切割水回用設備 權坤恒溫水循環系統
芯片切割廢水主要來源于晶圓切割過程中的研磨與清洗環節。這些廢水中含有懸浮物、有機溶劑、重金屬離子(如銅、鎳、鉻等)、氟化物、酸堿物質等。廢水的成分復雜,濃度高,毒性大,且濃度波動性強?。
芯片切割廢水的處理工藝通常包括以下幾個步驟:
1?. 收集與初步過濾?:廢水首先通過廢水收集系統集中收集,然后使用水泵輸送至多介質過濾器進行初步固液分離和懸浮物去除,防止后續處理設備堵塞?。
?2. 調節pH值?:通過加藥、混合等方法調節廢水的pH值,使其達到后續處理的最佳范圍,有助于提高處理效率?。
3?. 化學沉淀?:向廢水中投加化學藥劑(如CaCl2、PAC等),使某些離子(如氟離子、磷酸根離子等)形成難溶于水的沉淀物,通過沉淀或過濾的方式將其去除?
4?. 生物處理?:在經過預處理和化學處理后,剩余的有機物可以通過活性污泥法或生物膜法進一步降解。活性污泥法是通過廢水與含有大量微生物的活性污泥混合,在曝氣條件下進行反應;生物膜法則是在填料上形成一層生物膜,廢水通過填料時與生物膜接觸,微生物在膜上降解有機物?。
5?. 深度處理?:包括膜技術(如超濾、納濾、反滲透)和高級氧化技術(如臭氧氧化、光催化氧化等),用以去除微細顆粒、溶解態無機鹽和難降解有機物,實現廢水的深度凈化?。
?多介質過濾器?:用于初步固液分離和懸浮物去除。
?調節池?:進行水量和水質的均質化處理。
?中和反應塔?:進行酸堿中和反應。
?沉淀池?:進行化學沉淀。
?生物反應池?:進行生物處理。
?深度處理裝置?:包括膜技術和高級氧化技術設備。
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