集成電路用高純水設備 水質穩定

超純水最初是美國科技界為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。

超純水系統設備的脫鹽核心部件為進口反滲透膜組件，超純水系統設備通常由預處理部分，反滲透主機部分，后處理部分共同組成。

1、預處理由石英砂過濾器、活性碳過濾器、全自動軟水器、精密過濾器組成(我司采用全自動控制閥頭)，也可選用超濾系統作為預處理，但通常工程造價要高。預處理主要目的是去除原水中含有的泥沙，鐵銹、膠體物質、懸浮物、色度、異味、生化有機物。當原水中硬度較高時，可選擇全自動軟水器，這樣有效的保護了反滲透膜，從而延長了反滲透膜的使用壽命。

2、反滲透主機主要由高壓泵、膜殼、進口反滲透膜組件，在線儀表、控制電氣等組成。只要膜的數量及泵的型號選型得當，反滲透主機脫鹽率及產水量都能達到額定指標，出水電導率可保證在≤10us. CM以下，(原水電導率小于500us/cm,工作溫度：1～40℃)

3、后處理部分是對反滲透制取的純水作進一步的深化處理以制取超純水，通常是離子交換混床設備或EDI設備，根據客戶要求，出水阻率可達到18.2MΩ.CM，如果是應用在直飲水工藝上，則加上殺菌裝置即可，通常為紫外線殺菌器或者臭氧發生器，從而使生產出來的水達到直飲標準。

集成電路用高純水設備 水質穩定

工作原理：

1. 水進入純化系統，主要部分流入樹脂 / 膜內部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。

2. 樹脂截留水中的溶存離子。

3. 被截留的離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。

4. 陽離子透過陽離子膜，排出樹脂 / 膜之外。

5. 陰離子透過陰離子膜，排出樹脂 / 膜之外。

6. 濃縮了的離子從廢水流路中排出。

7. 去離子水從樹脂 / 膜內流出。

設備特點：

1: 整體化程度高 , 易于擴展 , 增加膜數量即可增加處理量。

2: 自動化程度高 , 遇故障立即自停 , 具有自動保護功能。

3: 膜組件為復合膜卷制而成 , 表現出更高的溶質分離率和透過速率。

4: 能耗低 , 水利用率高 , 運行成本低。

5: 結構合理 , 占地面積少。

6: 的膜保護系統 , 在設備關機 , 淡化水可自動將膜面污染物沖洗干凈 , 延長膜壽命。

7 系統無易損部件 , 無須大量維修 , 運行長期有效。

8: 設備設計有膜清洗系統用阻垢系統。

工藝流程：原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→微孔過濾器→用水點

主要用途：

1、超純材料和超純試劑的生產和清洗。

2、電子產品的生產和清洗。

3、電池產品的生產。

4、半導體產品的生產和清洗。

5、電路板的生產和清洗。

6、其他高科技精細產品的生產。