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上海昊量光電設備有限公司
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顯微鏡儀高精度亞納米物鏡/定位臺！上海昊量推出的物鏡掃描臺采用陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪
顯微鏡儀
高精度亞納米物鏡/定位臺！
上海昊量推出的物鏡掃描臺采用陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊、體積小、無機械摩擦、定位分辨率高等優點，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺相比于傳統的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺硅傳感器使擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺的精度可以達到亞納米，底噪低至10pm。
上海昊量光電設備有限公司推出的壓電平移臺旨在滿足超精密定位應用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅動，以柔性鉸鏈為導向使其結構緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優點。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度、線性度和低底噪。由于其具有較高的精度、線性度和較低的底噪等優點，被廣泛的應用于超分辨率顯微鏡，光學捕獲和原子力顯微鏡等領域。
AU-FOCHS采用管狀設計，專門用于顯微鏡物鏡快速高精度定位。該物鏡掃描臺可提供行程可達到100μm，精度可達到0.1 nm，諧振頻率可達到1175Hz。它由鋁、鋼和黃銅構成，配備硅傳感器，可提供皮米級的穩定性。以上優點使其擁有廣泛的應用，例如，、顯微成像、體容積成像，等還可以與相機系統結合使用實現。
AU-FOC是一款專門用于顯微鏡物鏡準確定位的設備。該物鏡掃描臺可提供100/200/300/500μm不同行程。該物鏡掃描臺由鋁和黃銅構成，結合硅傳感器可提供皮米量級的穩定性。
以上兩款物鏡掃描臺的黃銅安裝環可以輕松更換，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺結合使用。可用的物鏡大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.
顯微鏡物鏡掃描臺產品特點：
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，諧振頻率可達1175Hz
l 采用硅傳感技術
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導向
顯微鏡物鏡掃描臺主要應用：
l 系統
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 鏡
l 半導體計量學
顯微鏡物鏡掃描臺產品參數：
Unit | AU-FOC | AU-FOCHS | ||||
Range of motion | mm | 100 | 200 | 300 | 500 | 100 |
Resolution | nm | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 0.1 |
Typical noise floor | nm | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.05 | 0.01 |
Full range repeatability | nm | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 1.0 | 0.2 |
Linearization (typical) | 0.02% | |||||
Resonant frequency | Hz | 500 | 350 | 250 | 200 | 1175 |
Stiffness | N/mm | 0.6 | 0.4 | 0.3 | 0.25 | 3.5 |
Maximum load : | ||||||
horizontal use | Kg | 0.5 | ||||
vertical use | Kg | 0.5 | ||||
Sensor | Silicon HR sensor | |||||
Material | Al | |||||
Cable length | m | 2 | ||||
Controller | standard | High speed | ||||
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