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高精度壓電馬達(dá)角位移臺(tái)（偏擺臺(tái)）

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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高精度角位移臺(tái)角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等，是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái)，它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)

詳細(xì)介紹

高精度角位移臺(tái)

角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等，是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái)，它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

AU-SGO系列角位移臺(tái)由驅(qū)動(dòng)，使用高精度交叉滾珠軸承，可提供的分辨率，并且行程可達(dá)到±5°，適用于微米或納米定位。該平臺(tái)可提供不同的旋轉(zhuǎn)半徑。主要包括以下產(chǎn)品。

	AUSGO-60.5	AUSGO-77.5	AUSGO-93.5
Picture
Travel [°]	±5	±5	±5
Max. Normal Force [N]	5	5	5
Center of Rotation [mm] (above working platform)	60.5	77.5	93.5
Closed-Loop Resolution [µrad]	0.03	0.03	0.03
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad]	0.12	0.12	0.12

此外可以將兩個(gè)合適半徑的平臺(tái)組合在一起組成歐拉角位移臺(tái)，此外還可以與線性平臺(tái)組合組成多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。另外該平臺(tái)還可以用于不同的環(huán)境下，例如真空和超高真空環(huán)境。

應(yīng)用實(shí)例：

1、具有六個(gè)自由度的定位系統(tǒng)（X;Y;Z;a;b;Z_θ）

角位移臺(tái)可以與我們的其它運(yùn)動(dòng)模塊組合組裝為多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，如下圖所示，與兩個(gè)線性平臺(tái)和升降臺(tái)組裝成XYZ平臺(tái)，在XYZ系統(tǒng)的頂部安裝了兩個(gè)測(cè)角儀SGO-60.5和SGO-77.5，以及一個(gè)SR-5014，由于外部尺寸和安裝孔匹配，三個(gè)旋轉(zhuǎn)階段具有相同的旋轉(zhuǎn)中心（由綠色球體表示）。