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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


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高精度壓電馬達(dá)角位移臺(tái)(偏擺臺(tái))

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高精度角位移臺(tái)角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等,是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái),它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)

詳細(xì)介紹

高精度角位移臺(tái)

 

角位移臺(tái)又稱為擺動(dòng)滑臺(tái)、α軸擺動(dòng)平臺(tái)等,是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺(tái),它提供的不是線性運(yùn)動(dòng)而是繞著空間固定一點(diǎn)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

AU-SGO系列角位移臺(tái)由驅(qū)動(dòng),使用高精度交叉滾珠軸承,可提供的分辨率,并且行程可達(dá)到±5°,適用于微米或納米定位。該平臺(tái)可提供不同的旋轉(zhuǎn)半徑。主要包括以下產(chǎn)品。


AUSGO-60.5

AUSGO-77.5

AUSGO-93.5

Picture

Travel   [°]

±5

±5

±5

Max.   Normal Force [N]

5

5

5

Center   of Rotation [mm]

 (above working platform)

60.5  

77.5  

93.5   

Closed-Loop   Resolution [µrad]

0.03

0.03

0.03

Closed-Loop   Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad]

0.12

0.12

0.12

此外可以將兩個(gè)合適半徑的平臺(tái)組合在一起組成歐拉角位移臺(tái),此外還可以與線性平臺(tái)組合組成多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。 另外該平臺(tái)還可以用于不同的環(huán)境下,例如真空和超高真空環(huán)境。

應(yīng)用實(shí)例:

1、  具有六個(gè)自由度的定位系統(tǒng)(X;Y;Z;a;b;Zθ

角位移臺(tái)可以與我們的其它運(yùn)動(dòng)模塊組合組裝為多維運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),如下圖所示,與兩個(gè)線性平臺(tái)和升降臺(tái)組裝成XYZ平臺(tái),在XYZ系統(tǒng)的頂部安裝了兩個(gè)測(cè)角儀SGO-60.5和SGO-77.5,以及一個(gè)SR-5014,由于外部尺寸和安裝孔匹配,三個(gè)旋轉(zhuǎn)階段具有相同的旋轉(zhuǎn)中心(由綠色球體表示)。


主要特點(diǎn)

l  高精度(0.03µrad)

l  可在真空和非磁環(huán)境




關(guān)鍵詞:位移臺(tái)

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