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上海昊量光電設備有限公司
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陰極發光儀/陰極發光顯微鏡昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡
陰極發光儀/陰極發光顯微鏡
昊量光電新推出用于微電子、半導體、絕緣材料、地質學和礦物學材料測量的法國NewTec陰極射線顯微鏡。陰極發光是一種光譜方法,它可以在局部尺度上識別缺陷和雜質,這些缺陷和雜質與被電子槍轟擊的材料的發光特性有關。
陰極射線顯微鏡組成:
配有相機的光學顯微鏡(低亮度)
裝有電動樣品支架的
雙層真空泵及附件
帶電纜電子槍
電源控制器及控制軟件
陰極射線顯微鏡特點:
等離子體穩定控制
自動擊發
半定量測量
分光計定量測量
極限空間分辨率<>
可選項:加熱and/or冷卻
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