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上海昊量光電設備有限公司


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高分辨率測試靶(分辨率板)

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更新時間:2024-02-13 15:08:36瀏覽次數(shù):183次

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產(chǎn)品簡介

高分辨率測試靶TestChart◆負片圖案設計◆基底為10x10mm2,設計緊湊,尺寸穩(wěn)定性良好◆采用高精度電子束光刻技術制作◆結(jié)構(gòu)尺寸低至100nm◆分辨率可達到3300lp/mm昊量光電推出的Testchart標準尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成,這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的,基底為一個10×10mm2石英襯底上

詳細介紹

高分辨率測試靶  Test Chart



◆  負片圖案設計


◆  基底為10x10mm2,設計緊湊,尺寸穩(wěn)定性良好


◆  采用高精度電子束光刻技術制作


◆  結(jié)構(gòu)尺寸低至100nm 


◆  分辨率可達到3300 lp/mm



       昊量光電推出的 Test chart 標準尺系列是由高精度的電子束光刻制作而成,這些圖案蝕刻在具有廣譜透射(DUV-VIS-NIR)的,基底為一個10×10 mm2石英襯底上。在襯底上施加了高光密度的鉻層,之后通過燒蝕鉻層,使得結(jié)構(gòu)尺寸可以降低到100納米的同時保證了設計的精度,這種方式也保證了結(jié)構(gòu)邊緣的良好尺寸公差和直線度。其結(jié)構(gòu)為負片圖案,且每個靶上的負片圖案允許結(jié)構(gòu)透明,而背景被鉻層阻擋。同時為配各類顯微鏡物鏡使用,有多種圖案可以選擇,且所有圖案都可以有一個厚度0.17毫米的覆蓋玻璃的版本可用。




                       標準載玻片靶 TC-RT01   ——   7.5-3300 lp/mm+4.0-0.25um Pinholes




通過高分辨率的RT01,可以非常輕松、快速地在傳輸光下確定目標的分辨率限制。水平和垂直對齊共有 59 條線型,涵蓋了精度從每毫米 7.5條線對 到 3300 條線對。

       同時結(jié)構(gòu)的簡單排列和測試結(jié)構(gòu)尺寸的直接讀取確保了直觀的處理。此外,還有5個直徑在4.0-0.25 um之間的針孔,可以實現(xiàn)微成像光學元件的詳細表征




             西門子星狀靶 TC-RT02   ——    Resolution testchart with very high precision





       該標準尺由 5 顆西門子星組成, 其特點是星中心的錐形部分制造的寬度低至為 150nm。該測試目標板非常適合于確定具有非常高數(shù)值光圈的顯微鏡物鏡的分辨率




                   載玻片檢查板TC-CB50   ——    CheckBoard of 50 x 50 um2 squares


   


        高分辨率顯微鏡檢查板的特點內(nèi)部每個正方形均為 50 x 50 平方微米,整體尺寸為 9.0 x 9.0 平方毫米。該靶片非常適合于測試圖像偏斜和曲率,以及確定由于直線和銳邊導致的圖像質(zhì)量。



                 載玻片針孔靶TC-ST01   ——    Stepped rows of Pinholes from 0.18μm-4μm



       



      

      該標準尺上提供了直徑0.18um到4um的針孔。相同階梯式針孔間具有足夠的暗區(qū),使待測透鏡的整個視場變暗。該標準尺特別適用于顯微鏡透鏡的星形測試和光學顯影




高分辨率顯微鏡靶通用規(guī)格


Pattern Tolerance:

100nm/cm

光密度 OD:

OD>8 @ 400nm, 6   @ 550nm, 4.5 @ 750nm, 3.6 @ 1000nm

光譜范圍:

200 - 2000nm

基底:

Fused Silica   w/Chrome deposit

尺寸 (mm):

10 x 10 x 1

構(gòu)造 :

Stainless Steel, 75   x 25 x 1.5mm, microscope slide format

 



關鍵詞:顯微鏡

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