詳細介紹
X射線光柵是非常精密的光學器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質量的二維X射線光柵倍受相關科研人員的期待。
■憑借的線倍頻技術,可以實現精確到5nm的X射線束聚焦
■基于電子束光刻的制造工藝,實現多階閃耀光柵的設計加工,光學效率高
■金剛石光學器件,輻射穩定性高
哈特曼光柵
Hartmann wavefront sensor plates
Description
- 2D arrays of holes for wavefront sensing
- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology
- Possibilities for high-Z materials (Au, W)
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