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X射線/XUV/EUV光柵

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更新時間:2024-02-11 18:13:51瀏覽次數:135

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產品簡介

X射線光柵是非常精密的光學器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質量的二維X射線光柵倍受相關科研人員的期待

詳細介紹


X射線光柵是非常精密的光學器件,對制作工藝的要求很高,尤其是制作高質量的二維X射線光柵的難度更大,因此,高質量的二維X射線光柵倍受相關科研人員的期待。


■憑借的線倍頻技術,可以實現精確到5nm的X射線束聚焦


基于電子束光刻的制造工藝,實現多階閃耀光柵的設計加工,光學效率高


金剛石光學器件,輻射穩定性高



哈特曼光柵

Hartmann wavefront sensor plates

Description

- 2D arrays of holes for wavefront sensing

- Etched into silicon using deep reactive ion etching technology

- Possibilities for high-Z materials (Au, W)



關于訂制要求,詳情可咨詢上海昊量光電設備有限公司。

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